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Physics and Astronomy Classification Scheme 2003

85.40.-e Microelectronics: LSI, VLSI, ULSI; integrated circuit fabrication technology (see also 85.45 vacuum microelectronics) Microwave integrated electronics, see 84.40.L Integrated optics, see 42.82 Superconducting microelectronic circuits, see 85.25.N ( 0 Dok. )


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